Ellipsometrie
Analyt
- Dünne organische oder anorganische Schichten in Dickenbereich von einigen Zehntel Nanometern bis zu mehreren hundert Nanometern.
Ausstattung
Zielgrößen
- Produkt aus Brechungsindex und Schichtdicke
- bei bekanntem Brechungsindex Bestimmung der Schichtdicke und umgekehrt
Anwendungen
- Dickenbestimmung bei dünnen und ultradünnen Polymerschichten
- Schrittweise Verfolgung des Aufbaus eines Multischichtsystems
Vergleichs- und Ergänzungsmethoden
- Oberflächenplasmonenresonanz (SPR)
- Profilometrie
- Atomic Force Microscopy