Oberflächenanalytik

Ellipsometrie

Analyt

  • Dünne organische oder anorganische Schichten in Dickenbereich von einigen Zehntel Nanometern bis zu mehreren hundert Nanometern.

 

Ausstattung

  • Optrel Multiskop

 

Zielgrößen

  • Produkt aus Brechungsindex und Schichtdicke
    • bei bekanntem Brechungsindex Bestimmung der Schichtdicke und umgekehrt

 

Anwendungen

  • Dickenbestimmung bei dünnen und ultradünnen Polymerschichten
  • Schrittweise Verfolgung des Aufbaus eines Multischichtsystems

 

Vergleichs- und Ergänzungsmethoden

  • Oberflächenplasmonenresonanz (SPR)
  • Profilometrie
  • Atomic Force Microscopy